常用的接觸式測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻率的方法主要有這幾種：

兩探針?lè)?；三探針?lè)?；四探針?lè)ǎ粏翁结様U(kuò)展電阻法；范德堡法。

兩探針?lè)?。這種方法適用于長(zhǎng)條形或棒狀試樣，通過(guò)測(cè)量電壓和電流來(lái)計(jì)算電阻率。其原理簡(jiǎn)單，操作方便，但受限于樣品形狀和尺寸。

三探針?lè)?，它適用于測(cè)量相同導(dǎo)電類型、低阻襯底的外延層材料。利用金屬探針與半導(dǎo)體接觸處的反向電流和電壓特性，可以準(zhǔn)確測(cè)定材料電阻率。這種方法在研究外延層特性時(shí)尤為重要。

四探針?lè)ㄊ橇硪环N常用的測(cè)量方法，特別適用于樣品沿徑向分布的斷面電阻率。通過(guò)在樣品表面放置四根探針，測(cè)量電壓來(lái)計(jì)算電阻率。這種方法在半導(dǎo)體材料表征和器件制造中有著廣泛的應(yīng)用。

單探針擴(kuò)展電阻法是一種適用于測(cè)量體材料的微區(qū)均勻性及外延材料、多層結(jié)構(gòu)或擴(kuò)展層等材料的電阻率或電阻率分布的方法。它通過(guò)單個(gè)探針與樣品接觸，通過(guò)改變探針位置來(lái)獲得不同位置的電阻率信息。

范德堡法，適用于厚度均勻、無(wú)孤立孔洞的片狀樣品。通過(guò)在樣品邊緣取四個(gè)接觸點(diǎn)來(lái)測(cè)量電阻率。這種方法在測(cè)量薄片材料的電阻率時(shí)非常有效。

了解不同的測(cè)量方法，選擇合適的產(chǎn)品，可進(jìn)一步提高效率。蘇州同創(chuàng)電子有限公司的最新產(chǎn)品SZT-2C，是一款高性能的四探針測(cè)試儀，適用于各種半導(dǎo)體材料的電阻率測(cè)量。它具有高精度、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，是進(jìn)行半導(dǎo)體電阻率測(cè)量的理想選擇。